二手 THERMCO 10000 #9311638 待售
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ID: 9311638
晶圓大小: 4"-6"
Diffusion furnace, 4"-6"
Process: LPCVD Si3N4, LTO and oxide
(4) Tubes
Loaders included
2nd PLY Tube and LTO tube non-functional.
THERMCO 10000是一種擴散爐及附件套件,常用於工業製造過程,例如生產具有保護層的合金、半導體摻雜,或製造任何材料的薄膜或層。該設備由一個管式爐、一個集成控制器、一個工藝氣體箱和一個氣體歧管組成,允許進行多次樣品控制。管式爐采用多孔氧化鋁墻傳熱,內爐采用二矽化銨加熱元件精確控制溫度。該爐長8英寸,並配有晶體石英玻璃觀察窗以監控過程。石英的額定溫度可達3000 °C。安裝在門上的轉運臂是可用的,允許樣品裝卸.系統控制器包括內置調節顯示器的5步編程觸摸屏、用於測量溫度和過程氣流的兩個精密電子儀表以及內置的通信端口。控制器中內置了一個警報單元,以提醒操作員註意任何進程異常。集成工藝氣體箱采用兩種調節器,通過分配歧管供應氮氣或氨,可編程成多個樣品或工藝步驟。必須在控制器中輸入與正確氣體匹配的部件編號,然後才能啟動該過程。所提供的轉運臂設計用於手動處理石英或金屬圓柱體,以仔細處理試管內外的樣品。所有與機器的連接都是快速斷開的,可以放置在爐內,以減少對額外空間的需求。完整的10000工具(包括附件)可用於需要更高溫度、精度和快速響應時間的應用程序。這種擴散爐和附件套件設計用於在多個循環和過程步驟中可靠地運行,而無需熟練的技術支持。
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