二手 THERMCO 4500 #59757 待售

THERMCO 4500是一種擴散爐及附件，設計目的是為半導體和薄膜加工應用提供可靠、低真空、高溫的環境，同時提供更高的安全性和長期可靠性。這種先進的擴散爐使高度復雜、多步驟的模塊能夠作為一個系統進行配置和操作。4500采用專利不銹鋼熱室,集成石英元件,提供高達1200°C的均勻溫度曲線。與傳統的玻璃管爐相比，該系統具有更高的可重復性和更低的溫度不均勻性。它還在整個溫度範圍內提供了非凡的溫度均勻性（1200 °C+/-20 °C）。而且THERMCO 4500的雙區管殼體設計允許同時直接進入熱區和冷卻區。4500專為加工薄膜和半導體晶片而設計，具有各種可選的部件，包括石英crucible、石英船和熱屏蔽。其先進的控制器提供精確的過程控制與PID調節過程反饋和手動或自動溫度模式。全絕緣腔室保證了高效率和低熱梯度，使過程可重復和可靠。此外，THERMCO 4500還包括壓力入侵開關、溫度入侵開關、集成火焰檢測系統等高級安全功能。4500中使用的標準電源為220/480V三相50/60Hz而最大功率輸入為36KW。爐內尺寸為400mm*400mm*500 mm （L*W*H），建議氣壓為5 Torr。高級控制器配有8.4英寸液晶顯示屏和基於Windows 7的軟件,用於安裝和操作控制。控制器還支持溫度控制、編程、數據記錄和故障檢測。維修方面，建議THERMCO 4500的保養間隔為12個月或2000小時營運。它旨在在太陽能電池制造、先進半導體芯片、薄膜塗層等多種專用材料加工應用中提供精確的溫壓控制和可靠的擴散過程。其先進的安全特性和高溫容量使其成為半導體和薄膜工業中最可靠、用途最廣泛的擴散系統之一。