二手 THERMCO 5200 #9094066 待售

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ID: 9094066
晶圓大小: 6" & 8"
Furnace, 6" & 8" (4) Tubes: (3) 6", (1) 8" Atmospheric Boatloader paddle system upgraded to Bruce Technologies silicon carbide paddle system Operator control panel (OCP) is a Bruce Technologies system Currently installed in cleanroom.
THERMCO 5200是來自THERMCO Instruments Inc的先進擴散爐及配件設備。該系統旨在滿足廣泛應用程序上用戶的需求。5200是一種雙室雙級擴散爐,可處理多達16個晶圓,最高額定溫度為1150攝氏度。該設備采用快速熱處理技術,並采用8英寸渦輪風扇機進行設計,以確保整個晶圓表面的溫度均勻。它還具有閉環和開環、內部溫度和壓力設置,以確保精確的溫度控制。該工具由觸摸屏用戶界面控制,提供簡單直觀的編程。高分辨率的觸摸屏有效地顯示信息,並允許快速訪問資產的設置和功能。該模型包括自動冷卻特性,可確保晶片的快速冷卻與過程的去活化同時進行。THERMCO 5200是為實現最佳的過程均勻性、重復性和可靠性而設計的.該設備提供變速加熱、變速冷卻和可重復過程的可變設置。它包括監控電子設備,在用戶界面上顯示準確的讀數和計時,使用戶能夠在必要時快速做出調整。它還包括一個計時器,幫助跟蹤晶圓的生產時間,並幫助確保更好的過程結果。5200適用於需要快速啟動時間的生產商。該系統的預熱時間有限,可確保設備幾乎立即就緒。這臺機器也是用戶友好的,用戶能夠控制用戶界面上的進程。它也適用於希望以最少的員工操作該工具的公司,因為該資產緊湊且易於安裝和操作。該型號配有配件,如加熱元件和眼鏡,以及必要時的更換部件。它還附帶了THERMCO 5年保修,以確保客戶在知道設備可靠且耐用的應用程序時放心。總體而言,THERMCO 5200是一種先進的擴散爐和附件系統,在均勻性、可重復性、效率和安全性方面為用戶提供卓越的性能。其用戶友好的界面和交互允許簡單直觀的編程,而其耐用的設計和部件確保了持久的性能。
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