二手 THERMCO 5200 #9148881 待售

THERMCO 5200是專門為增強晶圓處理能力而設計的擴散爐及附件設備。5200具有全套的溫度、壓力和流量控制,可提供各種精密晶圓制造和其他先進的微加工需求。THERMCO 5200是一種能夠快速加熱和冷卻的多功能一體系統。這種能力是可能的，這要歸功於它的兩個強大的，獨立控制的加熱元件系統。這兩個系統可以達到令人印象深刻的最高溫度2500 °C，允許各種各樣的過程。此外，高達6.9 bar的壓力能力和設備的高超熱均勻性使得一個可選的擴散爐可以集成到設備中。該機的核心是其獲得專利的管內加熱元件，它結合了高性能和重復性以及無與倫比的溫度均勻性。它的設計還允許從主室到外圍爐的過程之間方便、持久的連接。該工具還具有主動元件冷卻功能,以確保安全和可重復的性能。該裝置還配備了耐用、風冷的擴散外殼，專門設計用於制造廣泛的氟聚合物表面處理改進。這種改進有助於延長晶圓的壽命和性能。多區PID控制、出色的熱和均勻性、精確的壓力和流量控制、出色的溫度穩定性以及較低的維護要求，使得5200成為各種先進微加工工藝的理想選擇。該單元還能夠將過程集成到當前的生產系統中，其直觀的設計界面使其易於使用和正確配置。THERMCO 5200還有一個可靠的全球服務網絡作為後盾,為能夠保持您的資產平穩高效運行的技術人員提供可靠而及時的訪問權限。5200具有極具競爭力的價格和卓越的性能,是滿足任何先進的微加工需求的理想選擇。