二手 THERMCO 5200 #9226173 待售

ID: 9226173
晶圓大小: 6"
Diffusion furnaces, 6" SiC Tube (7) Quartz tubes.
THERMCO 5200是一種擴散爐及相關配件,專門設計給制造商和研發中心使用,專門生產高質量的微電子和半導體。它擁有令人印象深刻的無氧環境,意味著在加工過程中沒有氧氣汙染,銅反應非常低。5200為回火爐,溫度範圍為300-850°C,可編程冷卻速率為-10至-60°C/min。擴散爐具有± 5°C的溫度均勻性,有助於確保整個加工周期的結果一致。它還具有強大的對流設備和顯示集成電流監測和匯款輸出。THERMCO 5200的效率是由於爐膛內的纖維保溫隔熱磚、雙強制對流源、PLC控制烤箱、先進的PID溫度控制。此外,擴散爐先進的疏散系統,包括化學泵、流量計和提取閥,保證了清潔安全的環境。互鎖保護,如防逆火、溫度保護和輸入信號保護,使操作員免受潛在危險的影響。5200可容納長度不超過1.2m、寬度不超過30 cm的樣品,非常適合許多應用。其靈活的線架單元和方便的石英管接入,讓用戶容易放置和取出他們的樣品。拆卸晶片用鎖方便固定,確保樣品隨時安全。總而言之,THERMCO 5200是一種可靠、高能效的擴散爐,具有先進的增效技術。優越的溫度均勻性和強大的疏散機,結合其內置的安全特性,使5200成為高質量微電子和半導體生產的可靠選擇。
還沒有評論