二手 THERMCO / SVG 2600 #293660859 待售

THERMOCOTHERMCO/SVG 2600是一種擴散爐和附件，設計用於集成真空設備。設計用於半導體、顯示器、光學材料等先進材料的加工。機器上的數字控件是為直觀的用戶界面設計的，便於操作。爐子有兩個可以獨立操作的腔室，提供多個溫區。爐子的溫度可達1250 °C。大腔室可容納多種基材，使爐子用途廣泛，能夠滿足各種應用的要求。腔室包括一個可更換的底襯，用於保護基板免受擴散過程造成的損壞。該爐包括一個自動氣體輸送系統，並配有一個雙臂機械手單元。氣體輸送機由連接到質量流控制器的真空線組成。這允許以精確的速率引入純惰性氣體，允許精確控制溫度、流量和停留時間。此工具設計為可預編程,允許可重復的過程。雙臂機械手資產可以提高晶圓和基板放置的精度。該機械手能夠精確放置基板，能夠實現絕對可重復性，以實現工藝的最佳可重復性。SVG 2600具有集成的自動化控制模型,可精確控制和監視所有過程參數。該設備最多可存儲25個程序，允許將幾種配方編程到爐子中，從而方便過程重復性。該爐還包括一個數據記錄系統，該系統允許實時的過程監測和繪圖，以便於分析和故障排除。該爐具有多種安全保護功能，包括可調節計時器、過溫保護和氣流控制。THERMCO 2600是一種用途廣泛的擴散爐，旨在滿足各種應用的需要。它具有易於使用的數字控制、多個溫度區、雙臂操縱器、集成氣體輸送單元和自動控制機。自動化控制工具和數據記錄的附加功能允許精確控制和過程監控。該爐是加工先進材料的可靠、高效的選擇。