二手 THERMCO TMX 9001 #9285136 待售

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ID: 9285136
晶圓大小: 6"
Diffusion furnace, 6".
THERMCO TMX 9001擴散爐是為基板的高精度退火和熱處理而設計的全自動設備。它是實驗室和生產環境中高溫擴散過程的理想解決方案。TMX 9001具有多種配置和選項,可以為各種應用程序定制。此外,該設備還進行了優化,以實現高效運行和節能。THERMCO TMX 9001擴散爐的主體由不銹鋼構成,包括四個核心部件:加熱室、熱解爐、空氣預熱器和工藝控制器。加熱器室是一種單相空氣對流室,旨在保證基板的均勻加熱。熱解爐是一個高溫燃燒室,用來產生一個氮氣氣氛,用於精確的擴散過程。空氣預熱器是一種高效的風扇輔助系統,可確保環境空氣在進入加熱器室之前預熱至所需溫度。過程控制器是一個計算機化的單元,可以編程,以便對溫度、時間和壓力進行精確的過程控制和監測。TMX 9001擴散爐還包括幾個附件以增強其能力。其中包括一個介電天線,可用於確保二次處理氣體大氣保持均勻。還有幾種專門的襯裏可用於優化樣品加熱,還有各種用於適應多個應用的樣品支架。此外,該裝置還配備了安全系統,如自動關閉和超壓保護。總之,THERMCO TMX 9001擴散爐是一種精密的、專為高精度熱處理而設計的自動化機器。其種類繁多的選項和配件使其能夠針對各種應用進行定制,其優化的設計確保了高效的運行、節能和過程控制。TMX 9001是實驗室和生產環境中退火和擴散過程的理想選擇。
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