二手 TKK / TOKAI KONETSU KOGYA TRL300.300 #9351623 待售

TKK TRL 300.300是一種高效擴散爐，配有多種配件，便於重復可靠的樣品處理。該爐適用於制造半導體器件所需的各種氣相沈積和蝕刻工藝。KOGYA TRL300.300是為滿足嚴格的工藝開發要求而設計的垂直型多區爐。它配備了石英管加熱器，在均勻的溫度分布中提供最大的加熱。石英管允許在整個加熱區的整個長度上精確調節溫度。供熱區進一步分為三個區域。可以將每個區域設置為不同的溫度,為特定的處理周期提供最佳條件。該爐有一個集成的渦輪泵組件和一個壓力控制的泵送設備，可以消除後流，將熱應力降至最低，並且可以方便地容納各種尺寸的晶片。抽水系統旨在最大限度地減少壓力波動，並在整個處理周期中保持一致的溫度和壓力分布。在爐頂安裝了一個高性能惰性氣體輸送裝置，以確保一致的工藝精度和可重復性。氣體輸送機能維持所需的氣體純度和流量，並為工藝部件提供足夠的停留時間。惰性氣體輸送工具進一步配備了質量流量控制器，以調節氣體輸送速率。質量流控制器控制惰性氣體進料管的流量，以保持過程溫度一致，限制惰性氣體汙染。爐子還配有一個氣箱模塊，向加熱區提供氮氣覆蓋氣體，防止基板氧化。氮氣覆蓋氣體保持在固定壓力下，確保操作的安全性和可靠性。TOKAI KONETSU KOGYA TRL 300.300是一種高品質、可靠、高效的熔爐，旨在滿足最苛刻的生產要求。其各種配件和特點使其非常適合可重復和可靠的擴散處理。