二手TRIKON / AVIZA(擴散爐以及配件)待售
擴散爐是半導體工業熱處理應用的關鍵工具。TRIKON和AVIZA品牌是知名的擴散爐和相關配件制造商。這些擴散爐為精確和受控的熱處理提供了先進的技術和特點。TRIKON和AVIZA擴散爐配備各種配件,增強其性能和功能。一些常見的配件包括氣板、晶片船、石英器和溫度控制器。氣體板有助於為不同的過程輸送精確的氣流,而晶片船則確保晶片加工過程中的熱量分布均勻。石英器,如石英管、船和噴射器,用於保持和轉移晶片,以保持高熱均勻性。溫度控制器在擴散過程中確保精確的溫度控制。TRIKON和AVIZA擴散爐的優點在於其尖端的技術、高品質的建造和可靠性。它們提供了出色的熱均勻性、嚴格的過程控制和可重復性,從而提高了過程產量並縮短了周期時間。這些爐也高度可定制,以滿足特定的工藝要求,使其適合半導體行業的廣泛應用。TRIKON和AVIZA擴散爐的例子包括攝氏系列。Celsior系列提供了快速退火、RTP和低壓CVD等高級功能,為各種應用程序提供了精確高效的熱處理。其他型號包括以通用性和工藝性能著稱的TMA 3000和TMA 5000系列。總體而言,TRIKON和AVIZA擴散爐及其相關附件為半導體行業的熱處理需求提供了最先進的技術、靈活性和可靠性。
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