二手 ULVAC Rise 300 #293587423 待售

ULVAC Rise 300
ID: 293587423
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
System, 12" 2004 vintage.
ULVAC Rise 300是ULVAC製造的擴散爐及配件。它是一種應用廣泛的先進爐,從各種材料的退火和熱擴散到半導體摻雜。它是一種單級、交流供電、水平式的爐,最高可在3100 °C運行,最大載荷容量350 KG。爐內有不銹鋼室,加熱能力高達3000千瓦,以及特殊的冷氣流設計,以減少窗口熱輻射,提高效率。該裝置還具有三個獨立區域的受保護固態溫度控制器,允許精確的溫度調節。它也可以在真空或大氣中操作,改善過程,同時確保在操作過程中降低噪音。此外,Rise 300還附有一個額外的塵埃收集盒,用於收集和處置處理過程中可能產生的塵埃顆粒。它還有一個帶旋轉和擴散調節的排氣管,以提高效率和安全性。該爐還有一個互鎖系統,用於操作人員的安全以及環境,防止事故和易燃氣體/液體。該設備旨在最大程度地減少工作負載,減少準備時間,同時允許更長的運行周期。此外,它還具有橫截面觸摸面板,便於維護和操作。它還利用了最少數量的傳感器,從而產生了成本效益高、可靠和高效的裝置。
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