二手 ULVAC Rise 300 #293608971 待售

ULVAC Rise 300是一種最先進的擴散爐和附件,在半導體和材料加工方面提供無與倫比的性能。適合擴散、退火、外延生長、氧化等應用。Rise 300裝有四個有獨立控制器的石英室，允許彈性和冗余。ULVAC Rise 300的最高溫度為1240攝氏度,能夠容納各種基材和工藝。Rise 300提供各種功能,旨在大大提高性能和可靠性。內置傳感器和PID控制器可確保準確高效地管理和維護溫度。獲得專利的WindShield設備提供兩條獨立的氣線和一個可調節的迷宮擋板，以確保工作室內的溫度分布均勻。這樣可以防止顆粒侵蝕，最終導致溫度梯度，從而增加基板溫度均勻性。ULVAC Rise 300有一個直觀的用戶界面，允許用戶從觸摸面板顯示器設置和監視參數。它還包括改進流程控制的高級控制功能，以及用戶訪問的受密碼保護的身份驗證系統。此外，Rise 300還內置了防止熱漂移的冷卻單元，允許在加工過程中更好的控制和準確性。ULVAC Rise 300配備了幾個附件，以優化性能和增強安全性。充氣膜密封用於提供頂部和底部殼體的氣密密封，防止操作過程中加工氣體從腔室泄漏。該爐還配備了獨立電源和超溫監測機。這樣可以防止基板過早加熱和損壞電氣部件。最後，排氣管線和過濾器確保收集幹凈的廢氣粉塵排放，以消除由於空氣中的顆粒引起的潛在問題。Rise 300是一個可靠、堅固和用戶友好的工具,它允許執行一系列過程,並取得優異的效果。先進的控制系統，結合直觀的用戶界面，使ULVAC Rise 300成為先進半導體和材料加工的完美儀器。