二手 ULVAC Rise 300 #293608977 待售

ULVAC Rise 300（超低真空接入室）是ULVAC Technologies, Inc.的先進擴散爐及配件。它提供精確的溫度控制、精確的真空等級，以及為半導體工業中的各種應用處理大型基板的能力。Rise 300配備了四個水平反應區和一個垂直反應區，在一個環境控制的容器中實現精確的溫度均勻性。容器尺寸為16 "x 18" x 24"，最多可處理2.5" x 4"基板。四個反應區的最高溫度為1600°C，每個區的實際最高溫度由防止不安全狀況的TC/RTD傳感器持續監控。重型石英蓋設計為消除輻射損失，提供精確的溫度控制。ULVAC Rise 300提供精確的真空等級,最高可達0.0033 Pa。它采用適應性油泵和渦輪分子泵建造,比任何其他擴散爐都能更快地達到高真空水平。通風閥設計通過在處理過程中保持較高的真空水平，防止真空損失，並最大程度地減少汙染。Rise 300配備了ULVAC專有的fire&forget技術。這使設備可以在一個設置中執行一系列操作,並且無需任何手動幹預,最多可執行72小時。它還允許連續運行單個進程或最多六個進程,這些進程可以按任意順序或組合重復,從而實現了與流程要求相匹配的靈活性。ULVAC Rise 300配備了一個用戶友好的液晶控制面板,可輕松編程和管理來自一個位置的不同進程。它還有一個內置的光學發射光譜儀，增加樣品吞吐量時間。此外，Rise 300配備了所有最新的安全功能，以確保過程的安全，並延長機組的使用壽命。它的設計也符合環境法規，使其成為任何半導體芯片生產設施的理想選擇。