二手 ULVAC Rise 300 #9297203 待售

ULVAC Rise 300是一種多用途擴散爐及輔助設備，用於離子植入、快速熱處理和先進裝置技術中的摻雜劑擴散。它有一個垂直的圓柱形石英室，最多配備三個獨立的惰性氣源和一個真空設備，用於快速熔爐疏散。另外，該爐能夠通過反應端口接納原料，從而使反應物大規模運輸到反應室內。該爐具有旋轉對稱的三區加熱裝置，在整個過程中提供均勻的溫度，同時還可以對其0.2米的內部進行精確的溫度控制。Rise 300允許在各種溫度（1-300 °C）下進行各種處理,其設計允許調整每個區域的尺寸和工藝大氣層,從而便於系統適應不同的工藝要求。ULVAC Rise 300配備了高精度數字數據采集單元，能夠獲取分辨率為10 μ m和0.1°C的溫度剖面數據。嵌入式軟件套件允許微調加熱輪廓和序列。配置文件數據可以以各種數據輸出格式存儲以供以後分析,也可以傳輸到常用的軟件包中。Rise 300系列還設有內置熱力計和紅外加熱器，精度為+/-3°C，可精確控制溫度和工藝氣氛。輔助裝置堆棧包括電源電路、SiC船執行器、廢氣分離單元和真空泵。每一個組件都經過特殊設計,幾乎不需要維護,並提供卓越的可靠性。機器也是防水防塵的，可以在嚴酷的條件下間歇性操作和儲存，而不會出現部件降解的危險。ULVAC Rise 300的交付包是軟件、硬件和其他組件的補充包，以優化用戶體驗並確保設備的高效運行。全面的文檔和易用性使其成為廣泛的研究和生產活動的一個有吸引力的選擇。