二手 ULVAC Rise 300 #9351472 待售

ULVAC Rise 300是為半導體晶片沈積後熱處理而設計的高性能、高效擴散爐及配件。它能夠提供精確的溫度和時間條件，適用於多步驟退火、燒入、封裝等多種過程。它的設計包括頂裝石英管，能夠接受直徑達12英寸的晶片。石英管采用高耐用的G3石英材料制成，提供出色的熱穩定性和均勻的溫度分布。該爐還能達到室溫到1100 °C的可變溫度範圍，是各種工藝的理想選擇。此外,它的頂部裝載機設計允許直接進入加熱零件,從而提供卓越的過程控制和改進的工人安全性。而且Rise 300配備了動態過程控制系統。該系統采用反饋機制實時調整流程設置，提供對流程條件的詳細控制，提高可重復性。此外,系統還具有一系列過程控制功能,包括區域分析和數據記錄,從而能夠對過程條件進行詳細分析和優化。此外,ULVAC Rise 300還配備了一系列附件,旨在簡化使用並確保結果一致。其中包括電磁真空卡盤和用於晶片裝卸過程中快速溫度穩定的冷卻板，防止汙染物進入的真空密封臂，以及用於監測工藝室內氣體成分的氧氣分析儀。此外，熔爐集成壓力控制為優化擴散處理提供了恒壓氣氛。總之，Rise 300是一種先進的擴散爐，能夠滿足眾多專業應用的精確溫度和時間要求。其通用的設計允許直接訪問加熱的零件、改進的過程控制、專門的附件等,確保提供優異的效果。