二手 ULVAC V8-100 #9350446 待售

ULVAC V8-100
ID: 9350446
晶圓大小: 6"
優質的: 2009
Vertical diffusion furnace, 6" 2009 vintage.
ULVAC V8-100是一種擴散爐及其附件,設計用於單獨或分批為八個100毫米的圓盤放樣。最高工作溫度可達1120 °C,可用於退火、燒結、焊接等應用。V8-100爐配備了自動真空設備,使內部環境保持在高真空壓力下。這有助於確保爐內環境一致,從而實現嚴格的過程控制和可重復性。它還有一個腔激光測量系統,能夠在設備內部實現精確的溫度均勻性。該爐還配備了一個水平分區集中控制單元,這是一臺先進的溫度控制機器,允許在爐內任何給定的操作級別進行完全的溫度控制和監督。ULVAC V8-100還配備了一系列附件,旨在使操作更簡單、更順暢。這些附件包括裝載機/卸載機工具、單獨的控制器單元和專門設計的氣動資產。裝載機/卸載機模型允許操作員快速、安全地將基板移入和移出爐膛,而氣動設備則有助於優化壓力水平以實現最佳擴散。除了這些附件外,V8-100還設計了多種氣體噴射系統,利用不同的反應性氣體使擴散迅速而精確地發生。該裝置還允許在必要時進行氣體交換和再利用預熱氣體,從而實現了完整的過程控制和可重復性。ULVAC V8-100擴散爐提供了一種高效、可靠、熱效用最小的圓盤凹陷方法。它具有多種特性和附件,這些特性和附件構成了一系列擴散應用的寶貴設備。
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