二手 ULVAC V8-100 #9373074 待售
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ID: 9373074
晶圓大小: 6"
優質的: 2008
Vertical furnaces, 6"
Process: Oxide
Gases: N2, O2, H2, HCL
2008 vintage.
ULVAC V8-100是一種擴散爐及其相關附件。該產品設計用於高質量的汽相退火擴散，通過低壓和低熱負荷相結合而成為可能。這使得它成為各種材料如半導體、金屬、陶瓷和聚合物表面退火的理想工具。V8-100包括一個870升的CVD腔室和一個堆疊轉盤、一個由渦輪分子真空泵和一個旋轉直接驅動機構組成的排氣系統。轉盤設計用於樣品的快速裝卸以及樣品均勻擴散的高精度定位。渦輪分子真空泵保證了CVD室的穩定和低壓環境，從而實現了蒸汽擴散。旋轉式直驅機構可實現均勻擴散的平穩、連續運行和改進氣流.ULVAC V8-100配備了最先進的控制系統,可實現流程自動化和實時監控。控制系統包括直觀的GUI、實時壓力監控、自動配方、過程報警、編程選項以及若幹安全和故障安全功能。此外,該產品還能夠存儲多達10種不同的配方,這些配方可以快速訪問並用於創建自定義流程。V8-100具有水平分流爐設計、不均勻的氣體分配機制和先進的冷卻系統，可防止不必要的熱傳遞到環境中。此外，擴散爐的最高溫度約為1400°C，使其成為眾多應用的理想工具。低熱載荷可最大程度地減少對樣品的有害熱沖擊,並確保各種物質的均勻擴散。ULVAC V8-100設計方便用戶、耐用且高效。它經過了廣泛的精度、可靠性和精度測試,通常是免費維護的。此外,它還具有安全功能,可在各種行業和應用中安全使用。總而言之，V8-100是一個可靠和高效的擴散爐和相關的配件設計為卓越的耐用性，質量和性能。
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