二手 ULVAC V8-100 #9412411 待售

ULVAC V8-100是一種擴散爐及其附件，設計用於以低成本生產高質量的薄膜。用於半導體制造和光伏/光學制造。V8-100的擴散過程是一個三步過程，涉及用薄膜塗覆底物，將薄膜燒制後固化，以便將雜質從底物中抽出，進入薄膜的空隙。集成的冷卻功能可防止熱沖擊導致薄膜質量差。ULVAC V8-100能夠執行幾種不同的擴散過程,並提供大量參數,以便靈活控制該過程。這包括控制氣體流入比例、爐溫和氣壓。此外,它還提供了兩種操作模式來處理不同尺寸和厚度的基板。V8-100還配備了一個高效的循環對流風扇，該風扇在整個過程室中平均循環加熱的空氣。這種特性是有益的，因為它減少了熱梯度和防止整個腔室和基板介質的不均勻加熱。ULVAC V8-100還具有自動基板介質溫度測量功能，用於檢測基板腔在加工時的溫度。這允許用戶調整進程參數以產生一致的結果。此外,它還具有一個停機通知系統,可在流程周期內通知用戶任何停機時間,並允許快速恢復流程。V8-100是一個堅固可靠的系統，旨在為用戶提供高質量的電影在長期生產運行。它的低成本和靈活性使得它成為那些希望以較少的努力和較低的成本制作優質影片的人的絕佳選擇。此外,其集成的冷卻和停機通知功能以及基板溫度檢測系統有助於確保一致的結果並降低運營成本。