二手 VAC AERO VAH 1220 HV-2 #9045828 待售

VAC AERO VAH 1220 HV-2是一種擴散爐設備，用於在基板上沈積或引入各種材料。該系統由幾個組件組成，包括一個腔室、外部安裝的真空裝置和電源。主室由三個加熱元件加熱，由兩個Nichrome線加熱元件和一個非晶矽（a-Si）加熱元件組成。腔室的溫度可設置為1220 °C，溫度曲線均勻至± 5°C以內。腔室也可以下泵至105 Torr至10-10 Torr的水平。VAC AERO配備了有限的溫度回收時間（LTRT）技術。此功能允許用戶在一個退火溫度下集中多批工作，從而消除了耗時的溫度循環。LTRT由計算機控制面板控制到0.1°C以內。除了腔室本身，VAC AERO還配備了氣體輸送機。這種輸送工具由兩個控制閥組成，以便能夠引入必要的工藝氣體。然後，這些氣體可以很容易地被抽到極低的水平。最後，資產還配備了多款旨在最大限度地提高安全性和便利性的配件。這包括用於監測腔室和過程的火石英玻璃視圖端口、自動鎖定減壓閥、惰性氣體凈化模型以及用於溫度測量的Incoloy級熱電偶。總而言之，VAH 1220 HV-2是將材料沈積到基質上的通用工具。憑借其高溫能力和高精度控制，作為先進研發實驗室使用的理想設備脫穎而出。