二手 VARIAN 200SJ #9181749 待售

VARIAN 200SJ
ID: 9181749
晶圓大小: 6"
Medium implanter, 5".
VARIAN 200SJ是一種用途廣泛的擴散爐和配件,設計用於各種應用。這種功能強大的設備能夠高效地為各種應用提供均勻的溫度和受控的大氣處理。200SJ配備了強大的200 kW加熱系統,具有靈活、可調的功率。它在整個室內提供精確的溫度控制,高溫可達2800 °C。該爐還配備了一個原位熱電偶,用於溫度監測和精確的過程控制。它還有一個自動重新點火單元和一個可以根據特定要求進行調整的機電控制裝置。VARIAN 200SJ還包含了一個大氣控制機,用高質量的密封和不銹鋼氣泡密封。該工具與惰性氣體和反應性氣體兼容,允許廣泛的應用,如CVD、PVD、氮化和退火。壓力控制和氣流由自動質量流控制器監控,而整體資產由可編程邏輯控制器維護。200SJ還配備了一系列標準配件,例如樣板、運行結束監控、快速冷卻選項和強大的真空模型。這種先進的設備旨在促進大中型生產應用中的高效可靠的運行。VARIAN 200SJ還使用遠程診斷計算機接口,以便於對系統進行故障排除和監視。200SJ是處理先進材料處理工藝的絕佳工具。其強大的加熱器、精確的溫度控制、先進的大氣控制提供精確的溫度和氣流,使其成為材料質量和工藝控制要求嚴密的工業設置的理想工具。
還沒有評論