二手 VARIAN 200SJ #9269475 待售
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VARIAN 200SJ是一種高效的擴散爐,專為加工各種材料而設計.該爐具有強大的48 kW結控制的熄火電動機，可加快坡道速率和降低熱梯度，從而實現更大的可重復性。這款高性能爐具有額定1100攝氏度的可調石英反應管，便於在廣泛條件下高效運行。該爐有八個加熱區，能夠達到高達1200攝氏度的溫度，以便進行快速和精確的處理。除了擴散爐，200SJ還包括幾個附件，以提高工藝能力。其中有高性能側臂幹氣饋電系統、200 cc/min低壓質譜儀、精密微調氣體混合器和石英氣體噴射管。質譜儀在監測氣體成分方面允許更大的控制和準確性，而氣體混合器則有助於保持精確和一致的氣體溫度和壓力分布。這有助於保證擴散帶和基板的均勻性。石英註射管和氣動氣體壓力道口也有助於實現可重復氣體流量和精確位置控制，以實現局部加工。這些道口提供了對氣體壓力和流量的精確控制，這種壓力和流量是在熄火過程中以及在冷卻過程中以及在基板裝卸之前的清除過程中進行的。VARIAN 200SJ還提供高級計算機控制功能,具有直觀且易於使用的圖形用戶界面（GUI）。這樣，用戶可以快速保存和召回工藝配方，實時監控爐子的性能。總之，200SJ是加工各種材料的絕佳擴散爐，具有先進的特點和配件，提高了工藝能力。這使得它成為用戶在各種溫度下尋找精確、可重復處理的絕佳選擇。
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