二手 VEECO LSA 100 #293687430 待售
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單擊可縮放
ID: 293687430
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
System, 12"
Frontend module
Electrical rack
Cassette to cassette handling
Optical output module
ROFIN DC035 Laser
Laser type: Carbon monoxide laser, 5000 W
(2) AFFINITY Heat exchanger, 25 kW
SEMI / JEITA Wafer thickness and flatness
Wafer type: Doped, Un-doped and SOI Substrate
Linear motor drive
Hot chuck
Damper
Transformer: 100 V
(2) Transformers: 400 V
Gases: CO 6%, He 94%, N2, CO2, Xe
Linear scan with fixed laser
Air ambient
Temperature: 1150°C-1350°C
LSA Chamber (DSI) with chemical filter option
Signal light tower
Water leakage sensor with pan
Electric leakage breaker
Touch screen monitor
Flat panel display
Graphical user interface
PC Controller
EBARA 25AAF202 Cooling water circulation pump missing
Non-functional parts:
Plate window
Mount blades (Left and right)
(2) Chillers (25 kW, 50 kW)
2006 vintage.
VEECO LSA 100是為高性能半導體加工而設計的頂級擴散爐設備。這個先進的系統結合了尖端技術和精確控制，在各種應用中提供卓越的效果。LSA 100具有堅固的結構和緊湊的占地面積,適合研究和生產環境。該機組配備了保證溫度分布均勻、運行可靠的優質石英管。管子由一系列加熱元件加熱，由精密的溫度管理機器控制，以達到精確的熱剖面。VEECO LSA 100的主要特點之一是其先進的氣體輸送工具。該資產能夠以高純度和高精度輸送各種加工氣體。這確保了所需的化學反應在管內發生，從而產生一致和高質量的薄膜沈積。LSA 100還配備了創新的過程控制模式，允許用戶輕松編程和監控沈積過程。該設備具有用戶友好界面,可顯示有關溫度、壓力、氣體流量和其他關鍵參數的實時數據。用戶可以輕松設置自定義配方，監控流程性能，實時進行調整以優化結果。除了主擴散爐單元外，VEECO LSA 100還配有一系列附件，增強了其功能性和多功能性。這些附件包括氣流控制器、真空泵、質量流控制器以及半導體加工必不可少的其他組件。該系統還兼容各種晶圓尺寸和材料，使其適合廣泛的應用。LSA 100旨在滿足半導體行業的苛刻要求,因為在半導體行業中,精度和可靠性至關重要。該裝置能夠執行各種過程，包括氧化、退火、摻雜等。無論是進行研究還是制造先進的半導體器件，VEECO LSA 100都提供了取得優異成績所需的性能和控制。總體而言，LSA 100是一種最先進的擴散爐機器，提供卓越的性能、可靠性和控制。憑借其先進的功能、用戶友好的界面和多用途的配件，該工具是半導體處理應用的理想選擇。無論您希望開發新技術還是優化現有流程,VEECO LSA 100都是一個值得信賴的解決方案,可提供卓越的效果。
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