二手 VERTEX DJ-802V-H #293652809 待售

ID: 293652809
晶圓大小: 6"
優質的: 2002
Furnace, 6" 2002 vintage.
VERTEX DJ-802V-H是一種擴散爐和附件,設計用於半導體晶片的制造和加工。該爐的設計目的是在電氣部件的制造過程中提供受控的氧化、驅動、退火和其他相關的加工操作。采用先進的密封雙墻結構實現了這一目標。DJ-802V-H的主室是長方形外套,帶有高級抗氧化塗層,保證壽命長。腔室尺寸僅為830 × 530mm,並配有獨特的三件式瓷纖維絕緣設備,以確保最佳的熱效率和有效的溫度控制。最高工作溫度為1250 °C,其爐壁絕緣能保持極好的均勻性和準確性。VERTEX DJ-802V-H具有一個特殊的加熱系統,具有先進的氣流和24個高溫電元件的電加熱系統,使操作員能夠根據他們的過程充分控制溫度分布。此外,該結構設計為提供均勻的氣流,使操作員能夠精確調整每個加熱元件的溫度。DJ-802V-H配備了獨特和創新的氣體裝置。它由兩個氣體歧管和一個旁通氣體電路組成,為任何工藝提供高穩定性和大的氣體通量。爐房設有高效排氣機,設計用於快速清除反應氣體,防止汙染和氧氣耗竭。該工具還包括其他設備,以幫助在擴散過程中保持均勻性和準確性。它包括石英內板和晶圓架、晶圓定位器、冷卻盤及相關配件。該資產還與各種熱電偶類型兼容,用於實時溫度讀數。模型中包含的軟件還允許操作員輕松編程。VERTEX DJ-802V-H是為滿足最嚴格的半導體晶圓加工需求而設計的先進擴散爐及配件。其氣密和雙壁結構是為了保證最佳的熱效率和準確性而設計的,而其氣體設備則是為了提供高穩定性和大的氣體吞吐量。它的高級軟件和附件使它成為任何流程的寶貴補充,並使操作員能夠輕松地針對所需的流程對其進行編程。
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