二手 GAERTNER L106C #116155 待售
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單擊可縮放
ID: 116155
晶圓大小: 6"
Large substrate ellipsometer
Manual load
Stage: 15" diameter circle, rotates 360°
Radial sliding scale: Graduated in 0.1 cm increments
Total stage travel: 19.8 cm
Variable angle model
Used for measuring coatings on 14" diameter glass disks
Alignment:
Built-in axis of rotation of incident arms is in the sample plane
Method of measurement: Rotating analyzer samples (144) data points
Detector: Solid state with auto gain feature
Incidence angle: 30°, 45°, 50°, 55°. 60°, 65°. 70°, 75°, 80°, 90°
Light source: HeNe 6328A Laser gives less than 1 mW output on sample
Beam diameter (Standard): 1 mm diameter (1 X 3mm on wafer @ 70°)
Measurement time: 3 Seconds
Sample monitor:
(39) Power microscopes for surface viewing
Tilt monitor for checking sample out of flatness
Sample (wafer) size:
6" Diameter standard
3" Linear
360° Rotary motion covers any point on a 6" diameter wafer
Interface: RS232
Computer: IBM PS/2-25 Model 8525001
Film thickness range: 0-60,000 Angstroms
Accuracy: ±3 Angstroms
Repeatability: ±3 Angstrom
Refractive index: ± .005
Power: 115V, 100V, 220V, 230V, 240V.
GAERTNER L106C是一種最先進的非接觸式橢圓儀，旨在測量薄膜和表面的復雜光學特性。這種裝置能夠以極高的速度、精確度和可重復性來確定薄膜的厚度和光學常數。L106C具有緊湊的設計,為用戶提供各種數據記錄和數據分析選項。憑借其先進的光學設計，GAERTNER L106C能夠測量各種樣品，如透明、半透明、透明和擴散表面。該設備采用偏振調制激光二極管作為光源，並結合了獨特的雙變形棱鏡設計，以實現更高的測量精度。橢圓偏振儀能夠精確測量臨界膜參數，包括厚度、光學常數和折射率。系統可以同時掃描多個入射角，讓用戶快速分析其樣品的復雜光學特性。L106C還包括一個全面的軟件包，幫助用戶存儲和分析他們的測量數據。該軟件可根據用戶的需要進行定制,並具有保存各種膠片參數組合以及根據收集到的數據生成報告的選項。該裝置還具有電動采樣臺，方便、快捷、精確的采樣定位。這使用戶能夠快速準確地測試各種樣品，確保在一致、可重復的條件下獲得測量結果。此外，該機器被設計為操作，即使在照明環境下，也不需要額外的光源。GAERTNER L106C是一種功能強大、用途廣泛的工具,用於對薄膜和光學表面進行精確可靠的測量。它結合了先進的設計和用戶友好的軟件,可確保準確、可重復的結果,而不會犧牲速度或成本。這種裝置非常適合各種應用，如半導體、光電和顯示技術。
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