二手 RUDOLPH AUTO EL II #293618566 待售

製造商
RUDOLPH
模型
AUTO EL II
ID: 293618566
晶圓大小: 6"
優質的: 1983
Ellipsometer, 6" 1983 vintage.
RUDOLPH AUTO EL II是由RUDOLPH Research Analytical生產的用於薄膜表征的光學橢圓儀。它的工作原理是用偏振光照射薄膜樣品,並測量反射或透射光的偏振。AUTO EL II使用偏振調制,使得可以同時測量樣品光學響應的幅度和相位,從而能夠完整描述薄膜的光學特性。該設備設計速度快,用戶友好,並具有一系列功能,以最大限度地提高操作的準確性和流暢性。RUDOLPH AUTO EL II利用0.5毫瓦的HeNe激光器,為被研究樣品提供反射或透射照明的光束。光束掃描系統包含兩個振鏡,通過聲光調制器將光束引導到樣品,然後通過紅外探測器測量任何反射或透射光。調制方案是一種PC控制的4態偏振調制,用於測量進出光的偏振狀態。Auto EL II配備了多種功能,可優化精度和效率, 包括提供633 nm至700 nm工作波長範圍的高分辨率步進電動機驅動器, 同時測量s和p寶麗來的高動態範圍探測器, 以及一個可以控制機動XY運動以及使用操縱桿手動移動的樣板, 能夠研究範圍廣泛的樣本視場。AUTO EL II提供了功能強大的軟件工具,例如RUDOLPH Films Pack、Bulk Solutions Pack和Substrate Solutions Pack,這些工具可以方便地分析和報告通過幾個簡單步驟獲得的樣本結果。此外,隨附的POL-EL軟件套件提供了額外的分析工具,例如泄漏模式分析和薄膜模式分析,使調查人員能夠對其數據進行進一步分析。總體而言,RUDOLPH AUTO EL II是一種有效而強大的光學橢圓儀,旨在讓用戶快速準確地表征薄膜樣品。它結合了光學掃描和調制,加上高端軟件工具和舞臺機動化,確保能夠對薄膜樣品進行精確的測量和解釋。
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