二手 RUDOLPH AUTO EL II #293630320 待售
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RUDOLPH AUTO EL II是一種高精度的數位橢圓偏光儀,旨在測量薄膜特性如厚度、光學各向異性、折射率、消光系數以及沈積速率。它是一種非破壞性、非接觸式表面分析技術,常用於半導體材料、光學塗層、薄膜堆棧的研發。AUTO EL II是一個自成一體的系統,包括計算機控制的光學模塊、樣品操縱階段、單色儀、軟件控制的機械臂和光譜儀。RUDOLPH AUTO EL II采用輕巧緊湊的光學模塊,能夠檢測到厚度不超過2nm的超薄膜結構。樣本處理階段能夠自動掃描各種尺寸的樣本,包括大面積(300mm)基板,從而可以在多個樣本區域進行測量。單色儀裝有單色濾波器,允許在190 nm至1000 nm的波長下進行測量。軟件控制的機械臂確保光學模塊相對於樣品的正確定位,而光譜儀用於測量從表面反射出來的能量。AUTO EL II易於使用,直觀的軟件控制用戶界面有助於簡化樣本測量。可以為每個樣本編程和微調波長和方向等參數。此外,該軟件允許用戶存儲測試結果、調整分析參數、創建自定義測量序列以及使用自動腳本語言來控制實驗。RUDOLPH AUTO EL II是一款功能強大、用途廣泛的薄膜分析工具。這種先進的橢圓偏光計具有高精度光學、軟件控制的操作以及測量厚度低至2nm的薄層的能力,是從事薄膜和半導體領域工作的研究人員和工程師的理想選擇。
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