二手 RUDOLPH AUTO EL (NIR-3) #9122499 待售

RUDOLPH AUTO EL（NIR-3）是由RUDOLPH Research Analytical制造的自動橢圓儀。它是一種非接觸式光學儀器，用於測量薄膜材料的厚度、組成、光學常數和相關參數。它通過結合實時光譜、成像和數據分析來測量薄膜表面在廣泛應用中的各種特性。RUDOLPH AUTO EL由一個集成的近紅外（NIR）源供電，該源選擇性地照射光在700至2300nm波長範圍內的薄膜樣品。然後，這種光從樣品表面反射出來，由集成的NIR光譜儀收集。通過光譜測量，這些光信號提供了薄膜材料的折射率、消光系數、層厚以及其他參數的詳細信息。儀器配備了多個攝像機，用於記錄樣品表面的高分辨率圖像。集成成像系統由最先進的自動對焦和放大馬達系統控制，允許精確對準光學元件進行精確測量。RUDOLPH AUTO EL是一個完全自動化的單元，包括兩個階段：樣品加載和準備階段以及分析階段。樣品制備簡單高效。集成加載器通過可選的旋轉平臺自動處理大多數基板，包括高達1英寸高的晶片。為了對樣品進行分析，RUDOLPH AUTO EL采用了能夠快速精確測量樣品的n值和k值以及層厚度剖面的算法。它還可以測量包括消光系數、薄膜厚度、側向光澤、折射率、狀態的部分光子密度和消光比在內的一系列其他光學常數。該儀器經過工廠校準，具有準確性和魯棒性，符合SEMI和ASTM標準。此外，RUDOLPH AUTO EL可以與第三方控制器結合使用，從而實現儀器的高級自動化和控制。總體而言，RUDOLPH AUTO EL（NIR-3）為研究人員和技術人員提供了一種用於測量薄膜材料性能的可靠、自動化的解決方案。易於使用的設計和集成的工具可以高效、準確地測量復雜的薄膜樣品。