二手 RUDOLPH AUTO EL #9221065 待售

RUDOLPH AUTO EL是一種自動化的、易於使用的橢圓偏光計，設計用於超精確和可重現的光學薄膜特性。橢圓偏光計測量單色光通過薄膜相關材料時的偏振變化。RUDOLPH AUTOEL允許對光學薄膜進行快速實時計量，同時還提供整個晶圓的厚度映射功能。AUTO EL的三軸電動旋轉級具有直觀易用的界面,可以快速測量圖層的二維和三維映射。橢圓偏光計能夠測量各種光學材料，包括氧化物、氮化物和抗蝕層，它可以精確地表征高達10 μ米厚的層和高達200納米的薄膜。此外，該系統還配備了自動光度成像工具，可自動跟蹤樣品並調整測量頭的光學位置，以進行精確的反射或透射模式測量。就準確性而言,AUTOEL提供了高達4-5%的極高可重復性和可重復性。此外,它的自動聚焦功能還利用優化的光學封裝來確保每個圖像的最高精度,從而允許具有次nm分辨率的精確深度輪廓。為了更易於使用,該系統與RUDOLPH Autoloader AL100-C（一個五插槽、自動化、機動化的負載站）無縫集成,可實現完全自動化和並行測量。這使用戶無需手動加載即可快速啟動多站點測量。總體而言，RUDOLPH AUTO EL是需要精確、可重現的光學薄膜特性的實驗室的絕佳選擇。它具有自動化裝載機和卓越的精確度，是研究和質量控制的寶貴工具。