二手 RUDOLPH AUTO EL #9225841 待售

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RUDOLPH AUTO EL
已售出
製造商
RUDOLPH
模型
AUTO EL
ID: 9225841
晶圓大小: 6"
Ellipsometer, 6".
RUDOLPH AUTO EL是一種橢圓偏振儀,測量半導體和光學材料的折射率和薄膜厚度,精度和重復性都非常高。橢圓偏光計是為研究實驗室、大學和需要高度可靠和準確結果的生產設施而設計的。其直觀的軟件界面、高分辨率成像、自動校準,使操作快速簡單。橢圓偏振儀是一種可變角度光譜橢圓偏振儀,用於測量薄膜的光學特性,具有集成的紅外選項,用於要求更高的應用。它以任意角度組合同時測量s-和p-極化光譜,給出了計算厚度和光學常數。獲得專利的可變角度可變擺動技術減少了角度不穩定和擺動造成的缺陷,允許測量具有多層結構和高旋光的樣品。橢圓偏光計可以測量任何尺寸或形狀的樣品,這要歸功於可定制的樣品級,它具有532 nm和可選的633 nm激光源,用於清潔反射樣品的照明。腳踏板操作的采樣臺確保采樣僅在處於所需位置時曝光,5英寸觸摸屏為系統控制提供了一個寬敞的交互式平臺。五種不同的測量模式,包括強度測量、相位測量、多角度測量、單點相位測量和厚度測量,給出了最大的靈活性。橢圓偏振儀的核心是RUDOLPH MUSE解析軟件。結合光譜、叠加和逐點數據操作,MUSE為各種薄膜材料生成準確的結果。它還具有用於分析復雜結構的多級測量、用於查看2D或3D參數平面上的樣本信息的多角度數據檢查以及用於快速識別薄膜厚度微小變化的多色成像功能。橢圓偏光計提供了高度可靠的數據,可以傳輸到光學設計軟件。
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