二手 RUDOLPH FE III #9165606 待售

RUDOLPH FE III
製造商
RUDOLPH
模型
FE III
ID: 9165606
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Wafer thickness measurement system, 6" 1995 vintage.
RUDOLPH FE III是一種自動化、計算機控制的光學計量儀器,設計用於測量薄膜厚度、折射率以及薄膜的其他特性。這款橢圓偏光計是一款使用HeNe激光光源、兩臺旋轉分析儀的組合以及一臺探測器構建的無損分析工具。激光測量來自光學平坦基板的反射光中的相變和能量位移,並通過一個可旋轉的補償器和分析器將其分成兩束等幅光束。這種偏振元件的組合反射和傳輸光在探測器的方向上創建一個可測量的橢圓偏振信號。檢測器然後將橢圓偏振信號轉換成電壓信號,由數據采集系統記錄和處理,可以報告薄膜厚度、折射率和薄膜的其他特性。數據采集系統還具有用於查看記錄信息的液晶屏,並具有用於打印結果或保存到文件的外部打印機端口。RUDOLPH FEIII還附帶了一個軟件驅動的用戶界面,允許橢圓偏振儀的自動設置、操作和控制。該軟件可以量身定制,以改變分析儀的角度、激光強度、激光波長、橢圓角以及更多的設置來獲得所需的信息。還可以設置測量參數以提高精度。軟件還使用戶能夠獲得樣本基板的多種讀數,並可以存儲、分析和檢索數據。此外,FE-III的校準效率很高,因為用戶可以利用各種內部校準標準或利用外部物質。FEIII的可靠性、靈活性、精確度和準確性使其成為光學元件、半導體、太陽能電池等多種薄膜測試應用的理想儀器。直觀的用戶界面、自動化的功能和集成的系統設計都使FE III成為廣泛應用的絕佳選擇。
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