二手 RUDOLPH FE IV #293830949 待售
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單擊可縮放
ID: 293830949
優質的: 1995
Thickness measurement system
Process capability: 0.11µm, 0.13 µm, 0.15 µm, 0.18 µm, 0.25 µm, 0.35 µm
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12x24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / gray scale detection
Manual / auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robot
(3) cassettes: 100 mm to 200 mm
Pre-aligner:
Virtual flat / notch finder
X, Y Centering: ±50 μm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 µm
Stage:
Accuracy: 7 µm over 200 mm
Repeatability: ±1 µm
1995 vintage.
RUDOLPH FE IV是一種橢圓偏振器，又稱橢圓偏振器，是一種用於測量材料光學特性的工具。RUDOLPH FE-IV是一種精確可靠的橢圓偏光計，用於多種測量，如薄膜厚度、折射率、吸收和反射率、表面粗糙度、介電常數和雙折射。它還提供各種散射、光譜和成像能力，以進一步擴展其應用。該設備由三個主要組件組成。第一種是單色儀，它選擇一條狹窄的光帶與樣品相互作用。然後將這種光譜分辨的光源反射出樣品表面，然後部分折射的光通過一個沃拉斯頓棱鏡，將光束分成兩個分量。然後將它們集中在一個探測器上，在那裏記錄每束光束的強度。根據這一數據，橢圓儀可以確定樣品材料的光學性質。FE IV適用於範圍廣泛的樣品材料，從金屬和半導體到玻璃和聚合物。它采用模塊化設計,可快速輕松地進行設置,使其適合在實驗室中使用或用於現場測量。FE-IV還配備了自動化的樣品掃描，從而能夠更快、更高效地進行測量。RUDOLPH FE IV能夠進行廣泛的測量，從角度分布和地形到厚度、薄膜特性和散射。RUDOLPH FE-IV也可用於成像。使用顯微鏡和光學適配器，該儀器可用於表面的深度成像和分析，包括肉眼看不到的粗糙和瑕疵。FE IV具有強大的成像功能,可用於更詳細地了解材料的光學特性。FE-IV直觀的軟件平臺使其易於配置和使用。它可以用來監測正在進行的實驗，收集數據，以及解釋結果。該軟件還允許用戶自定義參數和設置,以根據手頭的應用程序定制其測量值。RUDOLPH FE IV是一種先進的橢圓儀，非常適合各種測量和應用。該儀器具有強大的光學和成像功能,可幫助快速準確地測量和分析材料的光學特性。
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