二手 RUDOLPH FE IV #9314879 待售

製造商
RUDOLPH
模型
FE IV
ID: 9314879
Focus ellipsometer Light source: HeNe laser: 632.8 nm Laser diode: 780 nm Spot size: Test site: 12 x 24 µm De-skew: 125 µm Site by site: 50 µm Pattern recognition: Optional pattern recognition Edge / Gray scale detection Manual / Auto de-skew Reteach Wafer handling: 3-Axis robot With (3) cassettes: 100 mm to 200 mm Pre-aligner: Virtual flat / Notch finder X, Y Centering: ±50 µm Theta: ±0.1° De-skew: ±5 µm Stage: Accuracy: 7 µm over 200 mm Repeatability: ±1 µm Uptime: >95% MTBF: >1,500 hours.
RUDOLPH FE IV是一種用於光譜橢圓偏振領域的橢圓儀,一種無損光學技術,用於測量材料的光學、電氣和/或結構特性。RUDOLPH FE-IV是一種計算機控制、雙光束、單波長橢圓偏光計,執行雙向測量,意味著它能夠測量一個表面上的入射和反射光角度。它利用兩束可組合調制的獨立光束來測量樣品的復雜Mueller矩陣,從而可以準確快速地測定材料的光學常數。FE IV設計用於測量多種材料,包括有機和無機材料、單層和多層樣品、薄膜、反射和透射表面以及各類分子和底物。它還提供了在廣泛的樣本大小和厚度範圍內同時測量多個樣本的功能,從而最大程度地靈活地進行樣本表征。在操作中,由單色儀產生入射光束,並通過偏振光學器件分裂成兩個光束。兩束光束指向樣品,然後用線性可變偏振濾光片收集反射光。偏振角由樣品確定,然後調制,產生四種強度測量之一。然後利用一系列數學算法收集分析這一數據,得出光學常數,包括光學增益或損耗、反射率幅度、折射率和消光比。FE-IV直觀的界面和強大的軟件允許各級專長的用戶簡單操作,並可與單元件系統一起使用,以更高級的多光束配置和表面地形映射。樣品固定在精確旋轉表中,可以在兩個方向上移動。該表是完全可旋轉的,允許在整個角度範圍內對入射光和反射光進行快速、準確的測量。RUDOLPH FE IV包含一個功能樣本的綜合庫進行比較,提供了一種準確、可重復的材料測量方法。
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