二手 RUDOLPH FE VII #9097170 待售

RUDOLPH FE VII
製造商
RUDOLPH
模型
FE VII
ID: 9097170
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
System, 6", 2001 vintage.
RUDOLPH FE VII是一種先進的橢圓偏振儀,使用光譜技術測量光從表面反射的方式,計算與光學性質有關的精確參數。該儀器結合了紫外可見光譜儀、偏振儀和可變角度采樣級,測量各種材料表面的折射率、薄膜厚度、薄膜應力和其他光學性質。利用雙旋轉補償器板,光偏振並指向樣品表面的各種角度,根據其光學性質反射性質改變的光。光譜儀然後收集、過濾和測量反射光在多個角度和波長上的強度。此數據用於計算樣品的光學特性。高精度和重復性是RUDOLPH FEVII的關鍵特征。該儀器采用先進的電動采樣級,始終保持入射光束與采樣面垂直。壓力控制系統還確保樣品在操作過程中不發生運動,從而實現了0.2nm可重復性和更好的整體精度的精確測量。FE-VII還配備了用於簡化數據操作的強大數據分析包。該軟件允許快速、方便地進行測量結果分析,數據仍以原始文本格式保存,以便將來在外部應用程序中進行分析。考慮到樣品膜的幾何形狀以及應力和折射率,也可用於相位測量分析。RUDOLPH FE-VII適用於多種光學和薄膜應用,包括計量、光學設計、研發、工業制造、質量控制和環境監測。它還配備測量從原子層到毫米的全範圍薄膜。其先進的設計和功能確保了可靠而精確的元件和產品測量。
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