二手 RUDOLPH FE VII #9355413 待售

製造商
RUDOLPH
模型
FE VII
ID: 9355413
晶圓大小: 6"
Film thickness measurement system, 6".
RUDOLPH FE VII是一種高精度、自動化的光學橢圓儀,專為測量厚度在0.1-1000 μ m之間的無機和有機材料而設計。利用多光束幹涉和橢圓偏振的原理,該設備能夠以亞微米的精度測量薄膜和其他微觀結構。RUDOLPH FEVII配備了先進的相位調制器和可調偏振元件,使系統能夠測量厚度和光學性質各異的材料。模塊化設計使得定制FE-VII成為可能,從而可以用於分析多種樣品,包括極化性、介電常數、雙折射、應力和薄膜沈積材料。FEVII具有用於認證的集成光譜儀,允許確認材料的光學特性。該單元還包括一個顯示實時測量和實驗數據的高分辨率監視器。觸摸屏用戶界面允許快速輕松操作,非常適合實驗和研究應用。RUDOLPH FE-VII具有廣泛的特性和功能,適合各種應用。這些特點包括:用於調節偏振器和樣品幾何的超精密機械執行器;經確認的亞微米測量;數據采樣速度高達15 kHz;以及一個內置的處理單元,最多可存儲15,000個測量文件。此外,該機器還能夠測量各種光學材料和化學物質,包括金屬、電介質和陶瓷。FE VII提供了一種快速、可靠、準確的方法來測量材料的光學特性。該工具廣泛用於新材料和產品的研發,以及現有材料和產品生產中的質量控制。因此,它通常用於半導體層厚度測量、器件測試和表征以及薄膜沈積等應用。為了方便起見,RUDOLPH FE VII與Robolift系列的自動化樣品加載系統兼容。這些系統使資產能夠遠程操作,提供了一種成本效益高、可靠的替代手動樣品加載的方法。再者,該模型也與Robomaker軟件包兼容,可用於自動化高級測量和處理應用。
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