二手 RUDOLPH FOCUS FE III #9156769 待售
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RUDOLPH FOCUS FE III是一種最先進的反射光學橢圓儀,設計用於測量薄膜和表面的光學特性。它具有數字聚焦機制,可以比以往任何時候都更精確地探測極薄的層。FOCUS FE III有四種操作模式:MeasQuik,用於高速掃描;精度,用於典型的過程控制和研究測量;Spot Mode,用於分析流程步驟;和有限Q/Theta,用於在有限範圍內進行高速掃描。該裝置測量範圍很廣,從10納米到10微米。其波長範圍為250 nm至3,000nm,90°的精度高達0.5°,180°的精度高達0.7°,兩個角度的分辨率均為0.02°。RUDOLPH FOCUS FE III也有自動速度聚焦系統、自動入射角設定以及熱電冷卻探測器頭。該設備包括彩色液晶屏,用於實時數據控制和解釋。該軟件與PC兼容且用戶友好,通過允許用戶快速設置測量來簡化操作,而自動校準則可確保卓越的性能和一致的可重復性。FOCUS FE III非常適合廣泛的應用,包括薄膜表征、材料厚度和光學參數、半導體計量學、圖案化晶片等等。該設備設計用於各種環境條件下的最佳性能,確保在任何操作條件下都能獲得準確可靠的結果。RUDOLPH FOCUS FE III是一種精密儀器,因其準確性、重復性和速度而在研究界備受推崇。FOCUS FE III具有通用的操作模式、高分辨率和自動化功能,是任何應用程序的絕佳選擇。
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