二手 RUDOLPH FOCUS FE III #9188629 待售

RUDOLPH FOCUS FE III
製造商
RUDOLPH
模型
FOCUS FE III
ID: 9188629
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
Ellipsometer, 8" 2003 vintage.
RUDOLPH FOCUS FE III是由RUDOLPH Technologies製造的橢圓偏振儀。是一種用於測量薄膜厚度和折射率、消光系數等光學常數的高精度裝置。它使用偏振光反射從樣品和橢圓偏振的組合來測量和分析這些材料更好的精度。FOCUS FE III橢圓偏振儀是利用偏振光反射與橢圓偏振相結合的理論進行高精度測量的儀器。該裝置包括光源、光調制器、采樣級、偏振控制器以及光學和電子探測器。偏振光束由光源產生,由旋轉的半波板調制。然後將光反射出樣品並由檢測器檢測並由偏振控制器進行分析。使用偏振光是因為它在分析薄膜時能提供比非偏振光更多的信息。樣品級用於定位和安裝樣品。這裏使用紅外光束和激光傳感器檢測樣品位置,並相應調整光路。這使得RUDOLPH FOCUS FE III能夠精確測量入射角和極化調制。偏振控制器是一種濾光、調節和測量光束偏振的光學設備。它使用四分之一波板和分析儀來測量反射光的偏振狀態。光學和電子探測器測量樣品對偏振光的影響。該信息被儀器的光學部分用來確定諸如薄膜厚度、折射率和消光系數等測量值。總體而言,FOCUS FE III是一種高度精確的設備,用於測量薄膜厚度和折射率、消光系數等光學常數。采用偏振光反射和橢圓偏振法相結合,能夠快速準確地測量出精密的薄膜。
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