二手 RUDOLPH S3000A #9389594 待售

RUDOLPH S3000A Ellipsometer是一種通用的多波長光學測量設備，設計用於檢查半導體晶片上的薄膜堆棧。該系統是為測量全場和局部光學參數而開發的。它提供可靠、可重復的測量，具有高精度和可重復性。RUDOLPH S 3000A包含一個光源、光學收集光學器件和一個四象限光電二極管探測器來測量樣品的復雜光學響應。此技術稱為橢圓偏振法。該單元能夠測量波長範圍為350-215nm的樣品的與極化無關的透射和反射光譜的全寬半最大值（FWHM）。S3000A利用旋轉偏振器頭,其中包含7000多個光學元件來調制光,從而使用戶能夠測量光強度和偏振的變化。機器還包含一個集成的校準程序，以確保準確和可重復的讀數。S 3000 A集成了一整套軟件包,這些軟件包結合了強大的分析和數據處理功能。利用其軟件，RUDOLPH S3000A可以快速準確地分析薄膜。用戶可以將數據保存到內部內存或外部數據存儲設備。分析報告可以很容易地轉移到計算機上作進一步檢查。RUDOLPH S 3000A適合於多種應用，是半導體工業中的寶貴工具。它非常適合表征薄膜堆棧，如氧化物、氮化物和金屬。該工具允許用戶創建可用於優化設備參數的詳細分析報告。S3000A易於設置、操作和維護。可靠，維護壽命低。高精度和可重復的性能使S 3000 A成為薄膜堆棧表征的絕佳選擇。盡管RUDOLPH S3000A具備各種功能,但它是進行橢圓偏振測量的經濟高效的解決方案。