二手 RUDOLPH S3000S #9122476 待售
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ID: 9122476
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Focused beam ellipsometer, 12"
Wavelength-stabilized diode laser
Magnification microscope
Visible reflecto meter
Windows operating system
SEMI-compliant E-95 software
RAID 1 mirror hard disk,
(1) GB RAM memory
3 GHz Dual Core MPU
Metrology module user interface
High resolution flat-panel display
Keyboard
Pointing device
Metrology module-end
EMO button
Automation features:
EFEM with high-speed Yaskawa dual-arm robot
Ultra-clean HEPA air filtering mini environment
Amber interior lighting in the EFEM
EMO to the right and left of the loadports
SEMI F47 compliant power-sag protection
Metrology optics and hardware options:
Wavelength stabilized 923nm DFB laser
Temperature controlled optics
Software Options:
Cognex patMax pattern recognition
FabConnect software: HSMS, GEM with trace data
Statistical data analysis, graphing and display software
Xport Automation platform options:
Ionizer kit for dual-loadport EFEM
Signal Tower (5-color: R, Y, G, B, Clear)
AdvanTag 9100 Carrier ID reader
E84 Controller required for TDK + Hokuyo
2010 vintage.
RUDOLPH S3000S是一種多用途且用戶友好的橢圓表。橢圓偏振儀測量光束在從樣品表面反射或透射後的偏振狀態變化。這些信息可用於測量各種薄膜的厚度，以及確定樣品的折射率、消光系數和表面形態。RUDOLPH S 3000 S是一種光學橢圓偏振儀，其工作方式是以非常低的強度、單色偏振光照射樣本表面，並測量光反射回來時偏振的變化。在與樣品相互作用前後，這種光被分成四個通道。通過模擬理論預測與實測極化狀態的比較，可以準確地確定薄膜的性能。S3000S還包括獲得專利的Fast Kinetics Utility,它允許在只有一個測量設置的快速變化的膠片系統上進行多角度測量。S 3000 S能夠同時測量厚度、折射率、光學各向異性、吸收系數和樣品表面形態等多個膜參數。它可以自信地測量薄如幾埃和各種樣本量的薄膜。RUDOLPH S3000S可以容納具有多層衍射和折射光學材料的樣品，以獲得整個結構的信息。RUDOLPH S 3000 S采用可變角度旋轉偏振器和PD-SQuaRe控制分析模塊，允許角度和偏振的獨立調整。S3000S還配備了自動漂移和背景校正功能,以實現更快、更可靠的數據收集和更高的數據準確性。此外，S 3000 S同時支持反射和透射橢圓偏振，與其他同類系統相比，允許更廣泛的應用。RUDOLPH S3000S是一個功能強大但用戶友好的工具，旨在測量和分析各種薄膜樣品。它能夠通過其專有的光學器件、可變角度旋轉偏振器以及集成的PD-SQuaRe控制和分析模塊提供最高精度和精度的數據。無論樣品大小、厚度或表面類型，RUDOLPH S 3000 S都允許同時測量各種膜參數。
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