二手 TECHNICAL INSTRUMENT COMPANY KMS 310 #9117073 待售
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TECHNICAL INSTRUMENT公司KMS 310是一種高度先進的0.25 nm波長橢圓儀,設計用於半導體計量和實驗室工作領域的研發應用。它被設計為在測量薄膜厚度、層組成、折射率和其他光學參數時提供高度的精度和可重復性。KMS 310采用全自動4軸設計,可實現最高精度。這樣可以在廣角範圍內以極高的速度和一致性精確監控橢圓參數。該儀器還能夠分析頻率到波長的服務和多波束技術,以測量擴展範圍內的反射數據。TECHNICAL INSTRUMENT公司KMS 310由一個內部光譜儀提供動力,為用戶在整個範圍內提供準確和可重現的光學數據集。集成的PEEK橫向掃描階段捕獲整個薄膜堆棧的精確3 D橢球反射率映射。這使得在新的薄膜沈積和開發過程中對薄膜和薄膜性能進行精確的光學評估。KMS 310為要求苛刻的基於光學的計量過程提供了卓越的性能。通過包括MCVD(帶可變測量延遲的多通道橢圓量)技術,提高了直接長寬比讀數。MCVD允許在一個測量周期內對多達四個波長位置進行可變測量,並且角度解析分析可低至0.1°。這項功能強大的技術使用戶能夠以驚人的精度分析從亞納米範圍到亞毫米範圍的薄膜堆棧。TECHNICAL INSTRUMENT公司KMS 310為實驗室中的薄膜和層的研發提供了儀器用戶所需的一切-更高的角度分辨率、更薄膜的精度、更快的結果時間、改進的表面分析等等。它具有很高的可重復性和準確性,使其成為納米加工相關實驗室和半導體工業實驗室的理想工具。
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