二手 ADIXEN AMS 100 I-speeder #293817770 待售
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ID: 293817770
優質的: 2004
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher (ICP-RIE) system
Process performance:
Etch rates (≈25 % pattern load):
Bosch deep silicon etching: 5–6 µm/min
Smooth & shallow fast‑switching Bosch process: ~1 µm/min
Silica / quartz RIE etching: ~350 nm/min
O₂ chamber cleaning
O₂ photoresist stripping
O₂ residue (“descum”) etch
Bosch conditioning processes
Used for deep silicon etching
Gas lines:
SF₆: max. 1000 sccm
C₄F₈ (high-flow): max. 400 sccm
C₄F₈ (low-flow): max. 100 sccm
O₂: max. 200 sccm
He (backside cooling): max. 200 sccm
CH₄ (separate gas cabinet): max. 100 sccm
Wafer clamping:
Water cooled and non-cooled version, 4"
Water cooled version, 8"
He backside cooling system
ATH 1600 M Turbo pump
(2) A300 Roughing pumps
VAT PM-6 Pendulum valve
DRESSLER Cesar 1330 RF generator
Frequency: 13.56 MHz
Max. output power: Up to 3 kW
Output voltage: 400 V
DRESSLER Cesar 133 RF generator
Frequency: 13,56 MHz
Max. output power: 300 W
ADVANCED ENERGY LF5 DC generator
Frequency: 50 to 460 kHz in 100 Hz steps
Max. output power: 500 W
Temperature range: -30°C to +60°C
2004 vintage.
ADIXEN AMS 100 I-speeder是一款尖端蝕刻/asher設備，配備先進的技術，用於對基板進行精確高效的加工。AMS 100 I-speeder由真空技術解決方案的領先制造商ADIXEN開發，旨在滿足半導體制造、研究實驗室和其他需要高性能表面處理設備的行業的需求。ADIXEN AMS 100 I-speeder具有緊湊而堅固的設計,可最大限度地提高空間利用率,同時確保操作過程中的穩定性。該系統配有高性能真空室，保持精確蝕刻和灰化過程所必需的受控環境。該腔室采用優質材料建造，以確保耐用性和長期性能。AMS 100 I-speeder的關鍵亮點之一是其先進的等離子體蝕刻和等離子體灰化能力。該裝置采用先進的等離子體生成技術，允許對基板進行控制和統一的加工。這項技術能夠從基板表面精確去除材料，使其成為半導體制造和其他工業中的蝕刻和清潔應用的理想選擇。ADIXEN AMS 100 I-speeder配備了多用途的過程控制機，允許用戶量身定制蝕刻和灰化過程，以滿足他們的特定要求。該工具提供了一系列可以調整的參數，如氣體流速、等離子體功率和工藝時間，以達到預期的效果。此外,資產還具有實時監控和反饋機制,可確保流程穩定性和可重復性。在生產力和效率方面,AMS 100 I-speeder提供了令人印象深刻的性能水平。該模型能夠處理各種基材尺寸和材料，使其成為各種應用的通用解決方案。其高速處理功能可實現快速周轉時間,提高總體吞吐量並降低處理成本。此外,ADIXEN AMS 100 I-speeder還采用了用戶友好的功能,便於操作和維護。該設備配備了直觀的控制界面，使操作員能夠輕松地監控和調整過程參數。此外，該系統還采用了安全功能，以確保操作員的保護，並最大限度地減少操作過程中發生事故的風險。AMS 100 I-speeder的設計也考慮到可持續性。該裝置的設計目的是盡量減少能源消耗和廢物產生，促進更環保的運作。其高效的設計和優化的工藝參數有助於降低用戶的總體碳足跡和運營成本。總體而言,ADIXEN AMS 100 I-speeder作為一款結合了先進技術、精確性能和用戶友好功能的尖端蝕刻機/asher機而脫穎而出。無論用於半導體制造、研究實驗室還是其他行業，該工具都為表面處理應用提供了可靠高效的解決方案。它的多功能性、生產力和可持續性特性使其成為尋求高性能表面處理設備的組織的寶貴資產。
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