二手 ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 #9299602 待售

ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000是一款先進的模塊化蝕刻器和asher設備,旨在為各種應用程序提供最大的系統靈活性和性能。該單元具有高精度、模塊化、多過程支持,可用於蝕刻、灰化、膠卷曝光和其他應用。AMS 2000的模塊化設計提供了優化、高效和可配置的機器，並允許用戶根據需要輕松擴展工具的功能。資產包括一個標準的雙車道、多模蝕刻器和一個模塊化的基礎單元，以及一個可選的膨脹室，以增加模型的容量多達408個晶圓。高精度蝕刻模塊提供高精度、低排便的薄膜精密蝕刻，使用戶能夠實現並保持可重復性和準確性。蝕刻模塊具有預測和預防性維護功能,可最大程度地減少過程中斷並延長關鍵組件的使用壽命。先進的模塊化asher模塊提供了卓越的工藝精度和可重復性，並利用最新技術蝕刻和清潔後制造晶片。該腔室采用雙噴嘴設計，帶有氣體噴射管，用於精確蝕刻和清潔晶圓難以觸及的區域。Asher提供過程診斷功能,允許用戶監視和分析蝕刻過程,以確保滿足過程參數和要求。可選的膠片曝光模塊利用光源技術，準確、精確地曝光各種尺寸的正片、負片和臨界片。曝光模塊旨在提高吞吐量,同時確保準確性和可重復性。ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000支持的最大晶圓尺寸為8英寸，接口和控制設備使用Windows操作系統進行直觀和用戶友好的操作。該裝置利用雙通道處理最大限度地提高吞吐量，減少周期時間，確保最大生產效率和質量。AMS 2000蝕刻器具有模塊化設計和先進的特點，是各種半導體制造應用的理想解決方案。