二手 ADVANCED VACUUM Vision 320 #293764890 待售

ADVANCED VACUUM Vision 320是利用ADVANCED VACUUM技術，為各種材料提供精確高效的蝕刻和灰化工藝的尖端蝕刻和灰化設備。Vision 320專為研究和工業應用而設計,可提供高水平的控制和多功能性,以滿足半導體制造、MEMS/NEMS制造和材料科學等領域各種應用的需求。ADVANCED VACUUM Vision 320具有先進的真空室和高性能抽水系統,為實現均勻且無汙染的蝕刻和灰化工藝創造了必不可少的低壓環境。該系統配備了精確的氣體輸送單元，允許用戶以高精度控制各種工藝氣體的流速，使特定材料和應用的蝕刻和灰化配方得以定制。Vision 320的關鍵特征之一是其先進的等離子體生成機，利用高頻電源在真空室內創造穩定均勻的等離子體放電。這種等離子體在蝕刻和灰化過程中起著關鍵作用，因為它促進了化學反應，從基板表面去除材料或從蝕刻過程中清除殘留物。ADVANCED VACUUM Vision 320提供了廣泛的等離子體源，包括感應耦合等離子體（ICP）、電容耦合等離子體（CCP）和微波等離子體源，使用戶可以為自己的特定應用選擇最合適的等離子體配置。這些等離子體源可輕松集成到工具中,為將來的升級或修改提供靈活性和可擴展性。資產具有先進的工藝監控能力，包括對腔室壓力、氣體流速、等離子體功率、基板溫度等關鍵工藝參數的實時監控。用戶可以通過直觀的用戶界面可視化和分析這些參數,從而使他們能夠優化過程條件,並確保蝕刻和灰化結果的可重復性和一致性。Vision 320配備了最先進的基板處理模型，能夠在蝕刻和灰化過程中精確定位和旋轉基板。這種設備可以容納多種基材尺寸和材料，使得ADVANCED VACUUM Vision 320適合於研究和生產環境中的廣泛應用。綜上所述,Vision 320是一個高度先進的蝕刻和asher系統,它為半導體制造、MEMS/NEMS制造和材料科學領域的各種應用提供了精確、控制和多功能性。ADVANCED VACUUM 320憑借其ADVANCED VACUUM技術、等離子體生成系統、過程監測和控制能力以及基板處理單元，是尋求實現精確高效蝕刻和灰化過程的研究人員和工程師的強大工具。