二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9260027 待售
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是一種針對需要高吞吐量、重復性和準確性的應用而設計的蝕刻器/asher。它是一個集成了真空室、加熱室、控制面板、泵和傳感器的設備。蝕刻器/asher可靠可靠,非常適合工業應用。ADIXEN 601E有一個容量為0.25至5升的真空室。它配備了一個自動自調諧保護系統（STP）,該系統在蝕刻器/asher觸發器觸發時監視所有壓力設定點和工藝條件。這樣可以確保過程的可重復性和準確性。腔室加熱至高達1000 °C的溫度，壁上塗有硬質聚四氟乙烯，以防止侵蝕性物質侵襲。ALCATEL 601E配備了一個控制面板，允許用戶編程時間、溫度、壓力、流量、混合物成分等參數。這樣可以精確調整腔室的溫度，以適應個別應用。控制面板還允許用戶遠程監視和控制具有兼容界面的任何PC或設備上的蝕刻器/asher。蝕刻器/asher還包含多個泵，包括一個渦輪分子泵、一個液體泵和一個液環泵。這些泵可確保不同的工藝氣體以所需的速率和壓力保持流動。水泵具有較高的可靠性，長期提供可靠的性能。蝕刻器/灰化器配備了一系列傳感器，包括用於壓力、溫度、真空、氣體成分和電流的傳感器。這些傳感器使蝕刻器/灰化器能夠準確地監視和控制腔室中的工藝條件。如果發生任何異常情況,傳感器也可用於關閉設備。PFEIFFER 601E是一種可靠可靠的蝕刻器/灰化器,非常適合需要精確工藝條件和可重復性的工業應用。其集成的機器，自動化的刀具控制，以及廣泛的傳感器陣列確保準確和可重復的結果。
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