二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9267161 待售

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E
ID: 9267161
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是一種先進的蝕刻/組裝儀器,設計用於矽表面、金屬和半導體材料的蝕刻。這款蝕刻機具備高速、高精度、高通量能力,非常適合研發、先進的產品開發、高質量的制造工藝。ADIXEN 601E主要用於半導體器件的蝕刻,采用三步工藝。第一步將晶片放入蝕刻室中,暴露在高強度等離子體中。然後將等離子體加熱至高達200攝氏度的溫度,以去除不需要的表面層。在第二步中,蝕刻過程開始,利用量身定制的蝕刻過程將所需的區域蝕刻成所需的圖案和形狀。最後,在第三步中,對晶片進行清洗清洗,以確保殘留產物的去除。ALCATEL 601E具有廣泛的先進技術以提供最佳性能。其高精度蝕刻控制設備采用了先進的軟件,以確保在蝕刻過程中的精度。該機具有溫度控制、等離子體功率控制、蝕刻用離子束參數等全過程控制。此外,蝕刻器還配備了高通量系統,允許在各種晶圓尺寸上快速蝕刻。601E具有復雜的安全功能,包括自動關機,可確保晶圓在蝕刻過程中的任何時刻都不會損壞。其先進的滅火機在蝕刻過程中提供了額外的定心丸。PFEIFFER 601E能夠蝕刻金屬、半導體和矽等多種材料中存在低缺陷的高精度圖樣。蝕刻結果具有極好的均勻性,允許制造高質量、高精度的元件。蝕刻器易於使用,可靠性高,是廣泛研發過程的理想選擇。
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