二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602E #9232742 待售
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ID: 9232742
晶圓大小: 6"
Deep silicon etcher, 6"
Cassette vacuum load lock
Low pressure plasma source
Temperature controlled cryo chuck
Substrate holder: Θ150 mm
(2) Programmable Logic Controllers (PLC)
(2) Chamber etch systems
With handler
Process module:
Transfer chamber
Automated robotic arm
Computer interface system
(5) Sub assemblies:
Process chamber
Substrate holder
Plasma source
Power supplies
Pressure control
Transfer module:
Transfer chamber
Load lock chamber
Pressure control
Automatic loading and unloading substrates
With robotic arm, load lock and pumping package
System control module:
Real time process control and recipe management
RF Power control
Automatic substrate bias voltage control
Pump and valve control
Process gas flow control
Automatic batch processing
Manual control of all I/O signal.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E Etcher/Asher是一種先進的工業工具,用於在多種材料的表面上創建高精度的圖案。該工具能夠以非常高的速度產生高分辨率的結果。它的多種構型允許濕蝕和幹蝕，以及地形、同位素和光刻蝕刻。ADIXEN 602E的主要特點是其數字化、高分辨率的編程和控制設備，允許方便的模式調整，其高度的靈活性，使不同的蝕刻過程和不同的應用。數字化的計算機化系統還包括自動校準和自動校正機制，確保隨著時間的推移取得一致的結果。當涉及到有效性時，ALCATEL 602E被設計成具有45度倒角的高達0.2微米的精度。這種高精度使得復雜設計的細節更加準確和逼真。該單元的功率還確保蝕刻過程更快而不犧牲精度，在短時間內產生多種圖案。PFEIFFER 602E還提供多種安全和環境特性。機器受到保護，防止水花飛濺，保持刀具內部幹燥。它還旨在最大限度地減少灰塵排放和噪音，使其即使在工業環境中也能使用。此外,該資產還配備了用戶友好的界面和軟件,便於模型操作。602E Etcher/Asher是精密零件標記、地形、圖樣、蝕刻/標記和光刻的理想工具。由於它的特點,它可以提供準確、高分辨率的結果,而不管它所面臨的挑戰如何。該設備具有高度可配置性,在陣列尺寸、正在處理的材料類型、陣列的復雜性等方面提供了靈活性。所有這些功能協同工作,為用戶提供優化、高效的過程,確保快速、準確的結果。
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