二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A601 #293667511 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601是一種等離子體蝕刻器/灰化器,旨在蝕刻、灰化和剖析各種材料的表面。它由領先的等離子體設備制造商ADIXEN開發，提供市場上最強大的等離子體蝕刻/灰化裝置之一。ADIXEN A601設計用於半導體、微波、MEMS和高頻行業。它是一個超高性能的系統，能夠產生快速、準確和可靠的蝕刻和灰化結果。該單元還具有用於連續監測的內置過程模擬功能，允許精確的蝕刻/灰分過程控制和過程優化。ALCATEL A601提供自動化和手動操作模式，以及各種各樣的等離子體配方。具有等離子體均勻性高、內部基板溫度控制調節快、射頻功率水平低、V/I線性度高、工作溫度低等特點。它還配備了專有的等離子體源保護機器，提供智能和反饋，以防止等離子體「過度燃燒」和潛在的表面損壞。PFEIFFER A601專為最高的吞吐量輸出而設計,工作速度極快。它有一個創新的，靈活的工作區域，雙壁室保護。腔室可以快速打開和關閉，以便於底物的裝卸。閉環匹配網絡、高精度觸摸面板和抗菌UHP腔室保護裝置A601了最佳性能和安全性。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601還具有多步等離子體蝕刻/灰化程序，允許用戶將多個配方編程到工具中，同時監控多個配方。這樣可以精確控制和監控蝕刻/灰分過程。ADIXEN A601先進的高功率等離子體源改變了等離子體蝕刻和灰化可以在多種材料中創造精確的納米結構特征的方式。ALCATEL A601的多功能性可用於蝕刻、粉刷和輪廓薄膜、矽片和其他基板。它也非常適合蝕刻基於MEMS的結構，如射頻濾波器、波導、天線圖樣等等。PFEIFFER A 601的超切割性能、準確性、可靠性和可重復性使其成為市場上最先進的等離子體蝕刻/灰燼工藝工具之一。它是一個功能強大且經濟高效的工具,可提供最高的吞吐量和靈活性,以創建高度詳細和可靠的蝕刻/灰燼配置文件。