二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A601E #9301828 待售
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ID: 9301828
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
Gasses: Ar, CF4, O2, C4F8, SF6
Pump 1: ALCATEL ADP 122P
Pump 2: ALCATEL ACP 20
Chiller: LAUDA PK8 CP.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601E蝕刻器是一種可靠、精確的幹蝕刻設備，設計用於薄層金屬或其他材料在晶圓表面的沈積。ADIXEN A601E是一個用途廣泛的系統，具有廣泛的變量，可以針對蝕刻過程進行調整。ALCATEL A601E利用大功率電子束對晶圓的工作氣體、蝕刻材料和表面進行電離。該單元采用精密的光學方法掃描蝕刻區域，調整光束參數，以提供最高的蝕刻精度。然後將正在蝕刻的材料從蝕刻區域抽空，然後為下一次沈積準備晶片。PFEIFFER A601E機能夠蝕刻鋁、銅、鎢、鈦和金等材料。該工具還可以提供廣泛的蝕刻深度，並且可以調整蝕刻過程以提供改進的表面質量。資產也可以用來去除晶圓表面的任何瑕疵。A601E模型采用用戶友好界面設計,用戶可以輕松設置蝕刻參數。用戶還可以通過計算機界面訪問設備的所有參數，可以實時監控過程，也可以相應調整參數。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601E系統高效可靠,用戶可以快速準確地將薄層金屬沈積在晶圓表面上。該單元非常適合商業和工業應用。該機器還能夠提供比其他蝕刻器更高的蝕刻工藝精度和重復性。該工具運行成本低,易於維護。
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