二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9251507 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE是一種蝕刻/asher工藝設備，設計用於研發和生產半導體應用的快速高精度加工。它是低溫等離子體蝕刻器，由大真空室、等離子體源、陽極氧化晶片卡盤和基板支架組成。ADIXEN AMS 200 SE被設計成以高精度和可靠性同時處理標準和特殊的半導體應用。ALCATEL AMS 200 SE配備了能夠達到-70°C以下溫度的晶圓卡盤。這確保了等離子體處理在精確和均勻的溫度下進行。晶片卡盤也被設計為通過減少對標線的需求來降低擁有成本，從而延長卡盤的壽命。基板支架裝有自動地板裝載機，以便快速方便地裝載基板。PFEIFFER AMS 200 SE還配備了先進的多區ACC控制器和離子計，用於精確控制基板溫度和功率水平。AMS 200 SE在低溫蝕刻過程中運行，以盡量減少蝕刻時產生熱汙染。它還配備了先進的等離子體源控制，以確保以最高的效率和準確度進行蝕刻過程。通過使用精密蝕刻面罩、厚厚的氮化物毯片基板和先進的智能傳感器技術，實現了高精度。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE具有很高的靈活性和多功能性，因為它能夠處理各種基材類型和材料，涵蓋從濺射晶片到非氧化物基材的範圍。利用六軸光束掃描、可編程和曲線擬合功能,可以進一步優化蝕刻工藝的各種蝕刻輪廓控制。它還具有低蝕刻速率的時間周期,用於晶圓的均勻和可重復蝕刻.最後，ADIXEN AMS 200 SE憑借其先進的安全裝置，如EMI濾波器、溫度控制器、數字控制器和多區腔室安全系統，提供了高度的安全性。這些安全裝置提高了工藝的可靠性和準確性，以確保以最低風險水平實現最終產品的高質量。ALCATEL AMS 200 SE對於那些尋找可靠、準確和安全的蝕刻/asher工藝設備的人來說是絕佳的選擇。