二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9296962 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE是半導體工業的先進蝕刻器/asher。它為廣泛的加工領域中的幹蝕刻應用提供了一個集成的、經濟高效的解決方案。ADIXEN AMS 200 SE 蝕刻器/asher配備了一個完全可編程的水平工藝室（HPC）和一個橫向晶圓集傳輸（LWST）。HPC旨在提供一系列的工藝解決方案，包括蝕刻、灰化、預蝕刻和離子植入。該腔室還提供防止導電和腐蝕性材料的保護。LWST提供了一種精確、可重復、低壓的基板和晶片在工藝室之間的傳遞。ALCATEL AMS 200 SE還提供了一系列過程控制功能,包括配方的靈活性、可變溫度和氣體流量,以及超壓控制技術和先進的安全功能。蝕刻器/灰化器還配備了射頻等離子體源，能夠在蝕刻或灰化過程中在基板上提供重復且均勻的等離子體。等離子體的均勻性提供了卓越的過程控制和精度。此外，PFEIFFER AMS 200 SE還設有專門的減排系統，用於管理廢氣排放。該系統基於一系列過濾步驟，以確保最純凈的工藝氣體輸出可用。AMS 200 SE為半導體、電子、醫療、汽車等多個行業的蝕刻和灰化基板提供了快速、可靠和可重復的替代方案。其先進的安全功能保護用戶,確保過程的可重復性和質量,並最大限度地提高成本效率。