二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229760 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款以高精度能力著稱的超高真空蝕刻器/asher。這種設備經常用於各種行業和研究應用中的復雜蝕刻和灰化過程。ADIXEN AMS 200中的原子力顯微鏡分辨率很高，可用於搜索和成像樣品。它的高分辨率使得它適合廣泛的應用，從IC系統到納米粒子。此外，其濺射離子源能夠有效地控制離子束在樣品表面上形成完美的結構。ALCATEL AMS 200的樣品處理具有高度的靈活性和重現性。無論工藝壓力或樣品大小如何，溫度和工藝壓力都可以精確調節和保證。表面特性是通過使用原位等離子體處理來實現的，這些處理允許樣品表面氧化。這降低了表面汙染的風險，改善了蝕刻和灰化過程的附著力。AMS 200中的蝕刻過程使用了氧化物質量的氣態蝕刻羽流，從而對晶圓表面造成了微妙和最小的損害。蝕刻是在高真空下進行的，其中從樣品表面濺出的離子更快地到達高活性氧。這導致更均勻的蝕刻和對樣品材料的最小損害。同樣，PFEIFFER AMS 200的灰化過程也是在高真空條件下進行的。利用活性氧與高工藝壓力相結合的方法，對灰化工藝進行了優化，使材料快速高效地從表面去除，破壞最小。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200還具有先進的溫度控制系統。這允許用戶調整工藝室或特定模塊或部件的溫度。即使過程壓力變化,溫度也保持恒定.最後,ADIXEN AMS 200是需要超高真空蝕刻和灰化工藝的理想解決方案.它結合了包括原子力顯微鏡和原位等離子體處理在內的先進技術，確保了一致和精確的結果。此外，溫度控制系統確保對樣品材料的損害最小，使其成為各種應用的理想選擇。
還沒有評論