二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229763 待售
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款高性能的蝕刻器/asher儀器，設計用於樣品的精確蝕刻和灰化。它配備了一個集成的鎖載室和兩個反應室，允許兩個不同的並行處理循環。儀器建造溫度範圍為300至700 °C，壓力範圍為10-2至100毫巴，氣體流量為5至150毫升/分鐘。ADIXEN AMS 200能夠使用多種化學方法進行蝕刻,包括反應性離子蝕刻（RIE）、幹蝕刻和濕蝕刻。此外,該儀器還提供了包括直接等離子體和熱浸式灰化（TIA）在內的多種灰化選項。ALCATEL AMS 200的主要優點是其精確的控制和高精度。該儀器具有精確的溫度和壓力控制兩個蝕刻和灰化過程。它還具有精確的氣流測量和閉環控制，以保證一致的結果。此外，集成的鎖載室可以在處理過程中進行精確的樣品處理和快速交換樣品。為了操作員的安全，AMS 200配備了集成的過壓保護系統。當壓力超過過程開始時設置的極限時,此系統會自動關閉儀器。這樣可以確保人員和樣品的安全。最後，PFEIFFER AMS 200是一種高性能的蝕刻器/灰化器，設計用於樣品的精確蝕刻和灰化。該儀器具有精確的控制和高精度，為樣品的處理提供了一種安全、可靠和高效的方法。它是任何需要精確蝕刻和灰化的應用程序的理想選擇。
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